Die Förderung soll Unternehmen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik (MST) ermöglichen und die Umsetzung der Mikrosystemtechnik in neue Produkte beschleunigen. Förderung Investitionen FuE-Verbundprojekte zwischen MST-Herstellern und einem oder mehreren industriellen Partnern, welche die gemeinsam zu entwickelnden MST-Bauteile als funktionsbestimmende Bestandteile für eine System- bzw. Geräteentwicklung einsetzen. FuE-Verbundprojekte zur Entwicklung von MST-Bauelementen als…
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